[摘要] 前言：在信息技术不断发展的推动下，微电子产业已逐渐成为当前世界经济和技术发展
前言：在信息技术不断发展的推动下，微电子产业已逐渐成为当前世界经济和技术发展主导力量。超大规模集成电路的生产技术也已经成熟，有报道称半导体芯片的线宽即将进入130.100纳米数量级，然而洁净室的空气品质已然成为微电子产业发展的瓶颈之一。洁净室环境中的空气分子污染物(简称为hMC)或气相化学污染物，正日益成为微电子生产厂家关注的焦点。隔离或除去AMC已成为微电子行业新的技术挑战，也是洁净空调技术的一个重要课题。
许多研究表明电子产品和设备失效的原因很可能与某些气体的腐蚀有关，半导体产品生产过程中，分子态空气污染物的浓度会造成产品合格率底，易失效，寿命短的不良后果，因此国际半导体设备与材料组织于1996年批准颁布的“洁净环境中AMC水平分类”标准。这也就对室内的空气污染控制提出了明确的要求。在控制室内AMC的各种措施中，吸附法是最普遍的一种方法。活性炭纤维作为一种具有优异综合性能的吸附被广泛用于对物质进行吸附分离和净化，尤其在室内空气污染方面被证明是一种的吸附剂。
一、活性炭的合成原理和吸附机理
活性炭的吸附机理：活性炭是一种很细小的炭粒，但有很大的表面积，而且活性炭中还有更细小的孔一毛细管。这种毛细管具有很强的吸附能力。由于活性炭的表面积很大，所以能与气体(杂质)充分接触，这些气体(杂质)由于范德华力而被吸附，起到净化作用。ACF的孔隙结构与传统活性炭不同，一般没有粗孔和过渡孔而仅包含微孔，而且微孔孔径分布很窄，常具有分子筛的性质，表现出分子筛无法比拟的选择吸附性能活性炭的合成原理如下：
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