化学过滤器 chemical filter

[摘要] 为除去空气中的化学污染物和分子级污染物，满足工艺生产的微细化、精密化和高纯要求，在洁净室送风系统中专门设置的过滤装置。

为除去空气中的化学污染物和分子级污染物，满足工艺生产的微细化、精密化和高纯要求，在洁净室送风系统中专门设置的过滤装置。