轴向气相沉积 vapour axial deposition(VAD)

来源:建筑界编辑:黄子俊发布时间:2020-03-24 18:52:44

[摘要] 化学反应机理与管外气相沉积工艺相同,但由下向上垂直轴向生长预制棒的沉积工艺。

化学反应机理与管外气相沉积工艺相同,但由下向上垂直轴向生长预制棒的沉积工艺。

轴向气相沉积,vapour,axial,deposition(VAD)

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