流化床法 fluidized bed method

[摘要] 以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料，在流化床(沸腾床)内高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，生

以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料，在流化床(沸腾床)内高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，生成硅烷气；制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内，进行连续热分解反应生成粒状多晶硅的方法。